扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope，SPM）的发展历史是一段引人注目的科学进步历程，奠定了纳米科学和纳米技术的基础。自20世纪80年代以来，SPM的出现和保存，不仅使科学家能够以原子和分子的精度观察和操控材料，还推动了许多相关领域的研究。以下是SPM发展关键里程碑：

　　1981年：德国物理学家格尔德·宾宁（Gerd Binnig）和海因里希·罗雷尔（Heinrich Rohrer）在 IBM 苏黎世研究实验室发明了扫描隧道显微镜（STM）。STM 的发明标志着扫描探针显微镜技术的开端。[1]

　　1986年：格尔德·宾宁、卡尔文·夸特纳（Calvin Quate）和克里斯托弗·格贝尔（Christoph Gerber）发明了原子力显微镜（AFM）。AFM 可以在非导电材料上工作，扩展了 SPM 技术的应用场景范围。[4] AFM 利用探针与样品表面之间的范德华力进行成像，可以在真空、空气和液体环境中操作，因此在材料科学和生物学研究中具有广泛的应用。

　　1.磁力显微镜（MFM）：磁力显微镜（MFM）在20世纪80年代末至90年代初被发明，利用带有磁性涂层的探针，测量探针与样品表面磁力相互作用，实现了纳米尺度高分辨率磁畴成像。这一创新使研究人员能够进一步探索材料的磁性特性。

　　2. 静电力显微镜（EFM）：静电力显微镜（EFM）由斯蒂芬·库尔普斯（Stephen Kalb）和霍斯特·福尔默（Horst F. Hamann）在20世纪80年代末至90年代初发明，通过带电探针测量静电力变化，实现纳米尺度高分辨率电学成像。EFM被大范围的应用于研究半导体材料、电荷存储器件和纳米电子学等领域。

　　3. 近场扫描光学显微镜（NSOM 或 SNOM）：近场光学显微镜（NSOM）由埃里克·贝茨格（Eric Betzig）和约翰·特劳特曼（John Trautman）在20世纪80年代末至90年代初发明。NSOM使用带有亚波长孔径的光纤探针，通过限制光在极小区域内并扫描样品表面，获取高分辨率的光学图像，大范围的应用于材料科学、生物学、化学与半导体研究等领域。

　　1. 高分辨率和高灵敏度：随着探针技术、控制管理系统和数据处理技术的发展，SPM 的分辨率和灵敏度不断提高。

　　2. 多功能化探针：开发出具有特定化学、机械、磁性或力学性质的探针，使得 SPM 能够直接进行更为多样化的表征和操作。

　　5. 在生物学中的应用：SPM 在生物分子和细胞研究中的应用愈来愈普遍，可以直接观测生物大分子的结构和动力学过程。

　　集成集成磁力、压电力、扫描开尔文以及液相等多物性分析功能，具有极低的噪声水平，并具备基于深度学习的智能化数据处理分析。致真精密仪器未来将继续致力于更高分辨率、更快的成像速度和更强的多功能化的SPM设备研究，以满足科学研究和工业应用的需求。

　　‍‍致真精密仪器一直以来致力于实现高端科技仪器和集成电路测试设备的自主可控和国产替代。‍‍致真精密仪器通过工程化和产业化攻关，已经研发了一系列磁学与自旋电子学领域的前沿科研设备，包括“产品包含原子力显微镜、高精度VSM、MOKE等磁学测量设备、各类磁场探针台、磁性芯片测试机等产线级设备、物理气相沉积设备、芯片制造与应用教学训练成套系统等”等，如有需要，我们的产品专家能够给大家提供免费的项目申报辅助、产品调研与报价、采购论证工作。

　　另外，我们大家可以为各位老师无偿提供测试服务，有“磁畴测试”、“SOT磁畴翻转”、“斯格明子观测”、“转角/变场二次谐波”、“ST-FMR测量”、“磁控溅射镀膜”等相关需求的老师，可以每时每刻与我们联系。

　　AI医疗千万级采购项目！临汾市人民医院拟斥资1569.264万元采购基于DeepSeek AI大模型的智慧医疗应用系统一套

　　鑫图光电联合长光辰芯发布新一代图像传感器和具备单光子探测能力的sCMOS科学相机

　　打破国外垄断，开启国产弱磁测量新纪元——“创新100”访合肥墨测科技有限公司

　　媒体聚焦 丨《青岛日报》报道致真精密仪器《楼上研发楼下生产加速孵化“高精尖”》

　　用AI赋能科学研究，基于大模型的智能仪器助手Truth-Seeker在中关村论坛发布

　　媒体聚焦丨山东新闻联播聚焦致真精密仪器：高端仪器开放场景应用赋能科学技术创新